7月1日消息，昨天有消息称，ASML旗下所有的DUV光刻机，出口都要被经过认可才可以。 对于这样的说法，也是引起了热议，不过ASML给出了回应。 ASML表示，出口管制条例只涉及部分最新DUV型号，包括TWINSCAN NXT：2000i及后续推出的浸润式光刻系统。EUV光刻机在此前已经受到限制，其他系统的发运未受管控。 此外，ASML还表示，上述规定是在9月1日才生效，而他们已经提交了许可申请。 所以，在上述时间之前发货的DUV光刻机或不受影响，此前业内猜测的TWINSCAN NXT:1980Di也不受影响。 在这之前，光刻机大厂ASML高管对外表示，半导体业只有通力合作，建立完全自主的产业链，即使并非不可能也会极其困难。 |
